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磁控濺射陰極系列產品
編號：
名稱： 磁控濺射陰極系列產品
領域：
成果形式：
投資額： 萬
案例數：
技術階段： 概念階段
合作方式：

方案詳述

  • 濺射陰極SC：

1、適用于常規放電；

2、功率密度5-20W/cm2；

3、利用率>40%；

4、有效沉積區膜厚誤差<5%；

  • 濺射陰極SC-H：

1、適用于大功率放電；

2、功率密度達200W/cm2以上；

3、沉積速率提高10-20倍；

4、離化率>70%；

  • 濺射陰極SC-Hi：

1、適用于HiPIMS放電；

2、離化率近100% ；

3、沉積速率提高4倍；

4、放電穩定性高；


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