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激光微納制造與測量研究組
編號：
名稱： 激光微納制造與測量研究組
領(lǐng)域： 材料科學(xué)
成果形式：
投資額： 萬
案例數(shù)：
技術(shù)階段： 概念階段
合作方式：

方案詳述

激光微納制造與測量研究組

超快激光運用在加工與測量中具有靈活性高、精度高、表面質(zhì)量好等優(yōu)點，在集成電路、光芯片、3D打印、航空航天等領(lǐng)域均有重要應(yīng)用。甬江實驗室激光微納制造與研究組立足超快激光關(guān)鍵共性技術(shù)，致力于解決微納尺度制造及精細(xì)測量中的一系列基礎(chǔ)科學(xué)問題，開發(fā)新型制造與測量技術(shù)，為科研與產(chǎn)業(yè)相關(guān)瓶頸問題提供解決方案。目前，研究組聚焦光電芯片先進封裝與測量技術(shù)中的關(guān)鍵問題，重點開展空間三維光波導(dǎo)刻寫、多場探針微納測量方向的研究。其中，空間三維光波導(dǎo)刻寫技術(shù)能夠?qū)崿F(xiàn)任意光電獨立器件之間的高效自由連接，屬于國際首創(chuàng)的前沿技術(shù)，該技術(shù)對實現(xiàn)大規(guī)模光電混合集成，突破傳統(tǒng)芯片計算、通信性能瓶頸具有重大意義。


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